微纳复合结构模板及其制造方法

摘要

本发明提供一种微纳复合结构模板及其制造方法，该方法通过在金属铝上覆盖图形化的光刻胶层，并进行刻蚀，以在铝片上形成预定图案的微米结构，该微米结构为间隔设置微米级凸起和微米级凹陷所构成；然后通过阳极氧化法在微米结构上形成纳米级孔洞阵列；通过电铸，制备出与铝薄片上微纳复合结构互补的具有微纳复合结构的模板；利用所制备的微纳复合结构模板便可以直接进行压印制备微纳复合结构。该方法工艺简便，成本低；在压印工艺中，利用该模板实现微纳复合结构的一步式、低成本制造。