SOI高温压力传感器研究进展及应用

摘要

常规扩散硅压阻式压力传感器依靠PN结实现敏感电阻间的电学隔离，基于单晶硅良好的弹性形变性能和显著的压阻效应进行压力测试，以其特有的体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点，成为应用最广泛的压力传感器。不过，当工作温度超过125℃时，电阻与衬底间的PN结漏电加剧，使传感器特性严重恶化以至失效，不能准确测量压力。因此，把能在高于125℃条件下工作的硅压阻式压力传感器，称为扩散硅高温压力传感器。