SOI高温压力传感器研究进展及应用

摘要

高温压阻式压力传感器在军事和民用方面具有广阔的应用前景。当前，适于高温环境应用的压力传感器研究备受关注。本文概述了高温压力传感器国内外研究现状，重点介绍了SOI单晶硅高温压力传感器的相关研究工作，对研究工作中的问题和发展趋势进行了深入探讨。