高温高压SOI硅高温压力传感器的研制与应用

摘要

该文介绍了用SOI结构实现高温超高压力（大于60MPa）传感器的研制。实现了超高压力下具有0.14℅的非线性输出，并且使用温度达到200℃；零点时漂小于0.1mV/4h；零点温漂和灵敏度温漂分别为0.65×10<'-4>/<'0>CF.S、0.22×10<'-4>/<'0>CF.S。并且已提供给用户使用，即将全面推向市场。