SOI高温电路—突破硅集成电路的高温应用限制

摘要

常规的体硅基础电路通常只能工作在２００℃以处，ＳＯＩ电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求，并分析了ＳＯＩ电路在高温下的电学特性，讨论了为将ＳＯＩ高温电路商业化，应当解决的一些技术问题。