ＳＯＩ—突破硅材料与硅集成电路限制的新技术

摘要

与体硅材料和器件比较，ＳＯＩ具有许多独特的优越性，例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩锁效应等。因而被称为２１世纪的微电子技术而引起人们越来越多的关注，ＳＯＩ技术正走向商业应用阶段。特别是应用于低压、低功耗ＣＭＯＳ电路，抗辐照器件和高温电子器件等。结合第九届ＳＯＩ工艺和器件国际会议的内容。综述了ＳＯＩ材料和器件的最新进展。