一种耐高温充油SOI压力传感器

摘要

本发明公开了一种耐高温充油SOI压力传感器，包括壳体，壳体的顶部设置有压环，压环的内部设置有波纹膜片，且压环、波纹膜片以及壳体的上部构成密闭的充油腔，充油腔通过真空度为10‑4Pa的高真空硅油灌充系统进行高温净化、高真空度高温硅油灌充；壳体的内部密封设置有玻璃绝缘子，玻璃绝缘子的顶部设置有SOI压力敏感芯片，金属导线的一端穿过玻璃绝缘子并与SOI压力敏感芯片的底部电连接；SOI压力敏感芯片位于充油腔内，SOI压力敏感芯片与高温硅油接触，SOI压力敏感芯片与波纹膜片之间设置有陶瓷片，陶瓷片的中部设置有贯通孔。本发明实现了高温环境下压力测量，同时具有动态特性好、耐高温、精度高的特点，具有较好的实用性。