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雷明凯; 王大庸; 张仲麟;
大连理工大学材料系;
等离子体; 溅射沉积; 薄膜; 电子回旋共振;
机译:电子回旋共振微波等离子体低温溅射沉积镍锌铁氧体薄膜-尖晶石铁氧体薄膜垂直磁记录介质的软磁背层
机译:电子回旋共振微波等离子体对Ni-Zn铁氧体薄膜的低温溅射沉积
机译:电子回旋共振增强微波等离子体化学气相沉积成核新方法制备(001)取向金刚石薄膜
机译:使用溅射型电子回旋共振等离子体在室温下沉积低应力氮氧化硅薄膜
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:Au纳米粒子的表面等离子体激元共振结合Al2O3原子层沉积使表面钝化增强了α-Fe2O3薄膜的光电催化性能
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长
机译:溅射沉积以制造例如相变RAM,在距衬底支架特定距离的壁上具有用于电子回旋波共振等离子体的进气口
机译:电子回旋共振等离子体溅射装置及薄膜的制造
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