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汪建华; 任兆杏; 邬钦崇;
武汉化工学院;
氧化锌薄膜; 微波ECR; 等离子体溅射; 沉积; 薄膜;
机译:电子回旋共振等离子体溅射在二氧化硅玻璃基板上沉积的高导电性,未掺杂的ZnO薄膜
机译:电子回旋共振等离子体辅助化学气相沉积法制备ZnO薄膜的表征
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法在乙炔和甲烷等离子体中制备的DLC膜的机械性能
机译:电子回旋共振等离子体源增强N掺杂ZnO薄膜的脉冲激光反应沉积
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:次饱和等离子体增强原子层沉积法将锌酮样转变为多孔ZnO薄膜
机译:在甲烷的分布电子回旋共振激发的多极微波等离子体中沉积并转变为粉状等离子体的方法
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长
机译:将基板暴露于表面微波等离子体的方法,蚀刻方法,沉积方法,表面微波等离子体产生装置,半导体基板蚀刻装置,半导体基板沉积装置和微波等离子体产生天线组件
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