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声明
1绪论
1.1等离子体概述
1.1.1什么是等离子体
1.1.2等离子体的产生
1.1.3等离子体的研究
1.2低温等离子体简介
1.2.1低温等离子体研究的进展
1.2.2低温等离子体发生器及数值模拟
1.2.3低温等离子体展望
1.3微波ECR等离子体的研究、应用及发展
1.3.1微波ECR等离子体的研究
1.3.2微波ECR等离子体的应用
1.3.3微波ECR等离子体的发展
1.4本文的主要研究内容即编排
2微波ECR等离子体技术
2.1微波ECR等离子体源装置及其特点
2.2微波ECR等离子体原理
2.3微波ECR等离子体数值模拟方法
3微波ECR等离子体数学模型
3.1模拟对象
3.2基本方程
3.2.1磁场的物理模型
3.2.2等离子体的物理模型
3.2.3无量纲化方程
3.3初始条件及参数的选取
3.4边界条件
3.5模拟方法简述
4微波ECR等离子体的磁场和共振区
4.1磁场强度的模拟结果
4.2电流变化时磁场模拟结果
5等离子体的模拟结果及分析
5.1电流、压强变化时密度、温度模拟结果及分析
5.2稳态时密度、温度模拟结果及分析
5.3微波功率对等离子体密度的影响
5.4电子密度随时间的演化
结论
参考文献
攻读硕士学士期间发表学位论文情况
致谢
大连理工大学;