电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化学汽相沉积外延系统与方法

摘要

一种宽运行气压范围无离子损伤的ECR微波等离子体增强低温外延系统与方法，系统由腔耦合型ECR微波等离子体源、真空系统、配气系统、检测与分析及计算机数据采集与控制系统组成；配置有带差分抽气结构的RHEED，可实现原子尺度控制生长的原位实时监测。是适于单质和多元素化合物薄膜，复杂层状结构，超薄层低维结构材料生长的高精密低温外延系统与方法；还能满足等离子体与生长表面的相互作用等相关基础研究的要求。