功率电子器件用AlN陶瓷基板的研制

摘要

阐述了AlN陶瓷的烧结原理,分析了烧结工艺参数对大面积AlN基板性能的影响,成功研制出了高热导率(190 W /m*K)、大面积(140 mm×90 mm)、翘曲度为20 μm/50 mm的AlN陶瓷基板.