氧化钒热敏薄膜非致冷红外探测器的等效模型

摘要

建立了氧化钒热敏薄膜微测辐射热计的PSPICE模型,结合一个具体的CMOS读出电路给出探测器的等效电路模型,分析了探测器的电学和噪声特性,根据等效模型基于微测辐射热计电阻RD和读出电路MOS沟道宽度2个设计参数对噪声等效温差(NETD)进行了优化,优化数据表明:参数RD取值为2～11kΩ,W取值为0.1～1.0 μm时,得到的NETD值为0.133 4～0.188 5 K.