СПОСІБ ВИГОТОВЛЕННЯ ПОЛІКРИСТАЛІЧНОЇ ТЕРМОЧУТЛИВОЇ ПЛІВКИ ОКСИДУ ВАНАДІЮ З ВИСОКИМ ТЕМПЕРАТУРНИМ КОЕФІЦІЄНТОМ ОПОРУ

摘要

Спосіб виготовлення полікристалічної термочутливої плівки оксиду ванадію VO2 з високим температурним коефіцієнтом опору (ТКО) включає магнетронне напорошення на кремнієву підкладку, підігріту до температури 220-260 °C, плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в атмосфері, суміші кисню з інертним газом та подальшим відпалом плівки при температурі 250-350 °C впродовж 30-300 хв. Магнетронне напорошення здійснюють в атмосфері, де кисню 0,5-1 %, а інертний газ - решта, після чого вимірюють рівень кисню в плівці VOх, і необхідну для отримання стехіометрії VO2 кількість кисню додають шляхом додаткової іонної імплантації, після чого здійснюють відпал.