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基于MEMS的多模态电磁式能量采集器设计与仿真

     

摘要

提出了一种磁铁层和线圈层均能振动的电磁能量采集器方法,设计了磁铁、线圈、支撑层组成的“三明治”结构,并用COMSOL软件对其进行了模态、静态和谐响应仿真,结果表明:设计的结构可实现400 Hz以下6个振动模态,5个方向振动能量的采集,为进一步工艺生产奠定了基础.

著录项

  • 来源
    《传感器与微系统》 |2018年第7期|108-110|共3页
  • 作者单位

    河北工业大学电子信息工程学院,天津300401;

    滨州学院航空工程学院,山东滨州256600;

    中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051;

    滨州学院航空工程学院,山东滨州256600;

    中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051;

    中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051;

    中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051;

    河北工业大学电子信息工程学院,天津300401;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TH39;
  • 关键词

    能量采集器; 微机电系统; 机械振动; 电磁; 多模态;

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