一种基于MEMS的多模态低频电磁式振动型能量采集器

摘要

本发明涉及一种基于MEMS的多模态低频电磁式振动型能量采集器，其是由磁铁层、中间支撑层和线圈层构成的三明治结构；其中，磁铁层上具有能振动的磁铁，线圈层上具有能振动的线圈，支撑层支撑于磁铁层和线圈层之间为磁铁和线圈的振动提供空间。本发明设计的由中间支撑层支撑，实现磁铁和线圈均能振动的三明治结构的振动能量采集器，能把磁铁和线圈两者共振的频率点错开，使其能在400Hz以下有6个共振模态，并且能采集Z轴方向、X轴旋转、Y轴旋转、XY对角线轴旋转和X‑Y对角线轴旋转5个方向的振动能量。