超薄玻璃基板表面颗粒检查的方法研究

摘要

本文首先介绍了现有的表面颗粒检查的方法和原理,提出了该方法面临超薄玻璃基板表面颗粒检查时的问题.为了适应超薄玻璃基板表面颗粒检查的需要,设计了一种新的检查系统和方法.采用线性光源对玻璃基板进行低角度照射,并借助上下两台同样配置的摄像机先后对上下表面进行取像.通过计算机对取像结果进行整合、对比.根据同一颗粒图像的灰度变化判断颗粒是在玻璃基板的上表面还是下表面.新的系统和方法可降低上表面颗粒尺寸和数量的误判率,提高检查的准确率,提高生产效率.