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焦飞; 廖成; 韩俊峰; 周震;
北京大学物理学院重离子物理研究所,北京,100871;
ZnO; ZnO; Al; 反应溅射; 大面积薄膜;
机译:直流磁控反应溅射法制备的Ag2O薄膜的光学椭圆光谱研究
机译:椭圆偏振光谱法研究直流磁控反应溅射AZO薄膜的表面粗糙度和光学性能
机译:直流磁控反应溅射法制备IrO_2薄膜的制备及性能
机译:通过直流磁控反应溅射沉积氢化非晶硅过程中生长通量的表征。
机译:在室温下通过全直流溅射法制备的高迁移率ZrInO薄膜晶体管
机译:采用同步脉冲衬底偏压的混合高功率脉冲磁控/直流磁控共溅射制备Ti1-xalxN薄膜时金属与稀有气体离子辐照
机译:直流磁控反应溅射制备多层光学镀膜
机译:直流磁控反应溅射法
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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