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林清耿; 郜小勇; 刘玉芬; 卢景霄;
郑州大学材料物理教育部重点实验室;
河南郑州450052;
郑州大学物理工程学院;
河南郑州451052;
中频直流反应磁控溅射; 掺铝氧化锌薄膜; C轴择优取向; 吸收边;
机译:直流磁控反应溅射形成掺铝ZnO薄膜
机译:直流磁控溅射法制备氧化锌和掺铝氧化锌透明薄膜的比较研究
机译:直流磁控反应溅射InN薄膜电极作为水溶液中的光阳极。制备和氮退火电极的研究
机译:第64章RF磁控反应溅射制备铟掺杂氧化锌薄膜
机译:LPMOCVD技术生长的氧化锌,氧化铝和掺铝氧化锌薄膜的研究;增长和表征。
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:衬底温度对直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜的影响
机译:直流磁控反应溅射制备多层光学镀膜
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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