PVD轴瓦溅射工艺研究

摘要

研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦.PVD(Physical Vapor Deposition 物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点.通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程.铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求.铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平.