LTCC基板激光外形切割研究

摘要

外形切割是影响LTCC基板质量的一道重要工序。激光切割相对于其他切割方式,具有一定的优势。通过理论分析激光切割参数对LTCC基板质量的影响,对比不同参数的切割效果来对激光参数进行摸索,得到了较好的切割效果。除此之外,还研究了激光切割后基板玻璃熔渣的有效去除,使得激光切割质量有了更大的提升。