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陈得民; 李淑娟; 廖立平; 沈唯真;
北京必创科技有限公司 北京 100085;
江苏省特种设备安全监督检验研究院南通分院 江苏南通 226400;
同济大学机械工程学院 上海 200092;
传感器; 加速度; 动挠度; 传感器网络;
机译:适用于海上应用的新型电容式MEMS加速度传感器
机译:基于MEMS的电容式加速度传感器,在面部研磨过程中进行过程监控和脉冲检测
机译:“ MEMS技术改变了麦克风”关于硅(MEMS)麦克风-MEMS麦克风已在手机中得到广泛应用,并且市场份额正在迅速扩大。与传统电容式麦克风相比,其优势和技术趋势
机译:采用SOI-MEMS技术的电容式MEMS加速度传感器
机译:内置的自我测试和自我修复功能,用于电容式MEMS器件。
机译:具有空洞金属/弹性体层的无腔结构微电容式压力传感器及其无线遥测应用
机译:基于高敏感的MEMS基于电容式压力传感器设计,使用COMSOL Multiphysics及其在润滑系统中的应用
机译:基于mEms的无线加速度传感器在直升机传动齿轮齿故障检测中的应用。
机译:基于智能手机中的加速度传感器或其他设备的加速度传感器的具有无线鼠标功能的智能手机应用
机译:电容式加速度传感器及其在非伺服加速度计中的应用
机译:MEMS静电电容式加速度传感器
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