多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统

摘要

一种多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，包括步进电机机械系统、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路、单片机控制电路、上位机和电源管理系统，步进电机机械系统连接多路电容式MEMS加速度传感器，多路电容式MEMS加速度传感器连接多路数据采集电路，多路数据采集电路连接单片机控制电路，所述的步进电机机械系统包括铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体、步进电机和步进电机底座，步进电机安装在步进电机底座上。本发明可同时自动求解多路加速度传感器电容偏差，具有操作简单，自动化程度高等优点。