电容式MEMS加速度传感器的低温及辐照效应表征

目录

摘要

第1章绪论

1．1课题来源及研究目的与意义

1．2电容式MEMS加速度传感器

1．2．1两种典型的电容式MEMS加速度传感器

1．2．2MEMS传感器空间应用及可靠性

1．3MEMS惯性器件的空间辐照效应

1．3．1MEMS惯性器件的空间辐照损伤机理

1．3．2MEMS器件的空间辐照效应研究现状

1．4MEMS器件的低温效应研究现状

1．5MEMS器件低温及辐照效应研究现状分析

1．6主要研究内容

第2章试验样品与试验仿真方法

2．1试验样品

2．2电性能参数测试方法

2．3低温试验方法

2．4辐照试验方法

2．5电容式MEMS加速度计低温仿真方法

2．5．1有限元仿真方法

2．5．2COMSOL Multiphysic软件简介

2．6本章小结

第3章MEMS加速度计低温试验及仿真研究

3．1低温下的MEMS加速度计表头阻容特性演化规律

3．2MEMS加速度计仿真建模及相关参数

3．3MEMS加速度计低温效应仿真分析

3．3．1MEMS加速度计低温下静力学仿真分析

3．3．2MEMS加速度计低温下动力学仿真分析

3．4本章小结

第4章MEMS加速度计电子辐照效应研究

4．1电子辐照下的MEMS加速度计的整表特性演化规律

4．2电子辐照下的MEMS加速度计表头特性演化规律

4．3电子辐照下的MEMS加速度计的ASIC电路特性演化规律

4．4本章小结

第5章MEMS加速度计质子、Co-60γ辐照效应研究

5．1质子辐照下MEMS加速度计表头特性演化规律

5．1．1MEMS加速度计质子辐照试验条件

5．1．2质子辐照后MEMS加速度计表头电性能退化规律

5．2质子辐照下MEMS加速度计仿真研究

5．3Co-60γ辐照下MEMS加速度计ASIC电路特性演化规律

5．4本章小结

结论

参考文献

致谢

攻读学位期间取得学术成果

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