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周岩; 李彦哲; 李金平; 孙风光;
中国电子科技集团公司第49研究所 黑龙江哈尔滨 150001;
低噪声; 差分电容; MEMS; 加速度传感器;
机译:基于MEMS的电容式加速度传感器,在面部研磨过程中进行过程监控和脉冲检测
机译:适用于海上应用的新型电容式MEMS加速度传感器
机译:成功开发MEMS加速度传感器,具有东部和NTT-AT,超低噪声和超高灵敏度特性,超过100倍的灵敏度和小于1/100
机译:基于CMOS MEMS的带读出集成电路的单质量质量三轴电容式加速度传感器的设计与分析
机译:电容式CMOS-MEMS惯性传感器的传感和控制电子设计。
机译:用于低温系数和高线性度的MEMS电容式加速度计的结构设计
机译:用于电容式CmOs mEms传感器应用的斩波稳定,低功耗,低噪声,前端接口电路
机译:基于mEms的无线加速度传感器在直升机传动齿轮齿故障检测中的应用。
机译:一种制造MEMS电容式麦克风的MEMS方法及由该方法制造的MEMS电容式麦克风
机译:MEMS静电电容式加速度传感器
机译:MEMS电容式加速度传感器
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