MEMS capacitive accelerometer temperature coefficient linearity error;
机译:闭环模式下运行的散装MEMS电容加速度计温度系数的分析研究
机译:使用离心机测试确定其非线性系数的MEMS加速度计的精度
机译:MEMS电容式加速度计的建模和非线性响应
机译:用于MEMS微加速度计的低噪声,低温度系数CMOS带隙基准
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:高精度电容式MEMS加速度计中减轻粘结引起的翘曲的温度梯度方法
机译:低温系数和高线性度MEMS电容仪的结构设计