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罗海云;
电子部第13研究所;
等离子淀积; 氮化硅; 场效应晶体管;
机译:通过RF-PECVD和ECR-PECVD技术制备的用于光伏应用的碳基薄膜的电学和结构表征
机译:PVD和PECVD技术在热应用中具有PVD和PECVD技术的新型新型CNT多功能薄膜基纳米材料的合成与热模拟
机译:工业应用中的PECVD涂层:大面积线性PECVD涂层的最新进展
机译:在RF-PECVD中制备的(SIH4 + B2H6 + H2 + N 2 O)等离子体在RF-PECVD中制备的P型氢化氧化硅薄膜蓝响应的改进,以应用非晶硅太阳能电池
机译:使用直流鞍场PECVD制备的氢化非晶碳化硅,用于光伏应用。
机译:通过PECVD在金属合金基底上合成的碳纳米管场发射体用于X射线源应用中的定制紧凑型场致发射器件
机译:生长沉积技术对pECVD和pECVD性能的影响 热siO2
机译:用于mEms应用的pECVD二氧化硅(siO2)层的反应离子蚀刻
机译:具有PECVD润滑层的注射器,将容器运入PECVD处理站和从PECVD处理站运出的设备和方法,以及双层塑料容器
机译:具有PECVD润滑层的注射器,用于从PECVD处理站运输容器和从PECVD处理站运输容器和方法的装置以及双壁塑料容器
机译:低能PECVD制备的PECVD高效太阳能电池
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