磁控溅射BST薄膜的透射电镜分析

摘要

基于BaxSr1-xTiO3（BST）在微波调制器件上的应用，采用射频磁控溅射在Si衬底上制备了BST铁电薄膜，利用透射电子显微镜（TEM）对薄膜的内部结构进行了分析，得到BST薄膜的生长方式由最初的随机取向生长转变为最后的（111）面择优取向生长。