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使用聚焦离子束的透射电镜分析方法及透射电镜样本结构

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摘要

一种使用FIB(聚焦离子束)的TEM(透射电镜)分析方法，包括：将TEM样本划分为多个分析区；确定用于每个分析区的FIB束流；以及通过使用确定的FIB束流在每个分析区上执行FIB铣削。此外，该方法包括将TEM样本放置到TEM样本格上，并在TEM样本上透射TEM电子束以执行TEM分析。

著录项

  • 公开/公告号CN101470087A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2009-07-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东部高科股份有限公司;

    申请/专利号CN200810180795.3

  • 发明设计人 金东巧;

    申请日2008-12-02

  • 分类号G01N23/18;

  • 代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人李丙林

  • 地址 韩国首尔

  • 入库时间 2023-12-17 22:10:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-11-30

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N23/18 公开日:20090701 申请日:20081202

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2009-08-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-07-01

    公开

    公开

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