三维微细加工技术及其研究现状

摘要

三维微细加工技术的发展对于微机械的开发和生产具有非常重要的意义。本文介绍了三类得到普遍应用的三维微细加工技术，阐述了各技术在微细制造方面的特点，并举例说明了取得的成就。最后通过对比，认为飞秒激光微细加工是最有前途的三维微细加工技术。