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戴晓光;
湖北职业技术学院,机电工程系,湖北,孝感,432000;
微机电系统; 微细加工; 器件;
机译:搅拌摩擦加工技术的研究现状与展望
机译:超短脉冲微细加工技术的趋势与展望
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机译:用常规的紫外光刻和微细加工技术制备具有窄缝孔的多层聚合物微筛
机译:微细加工技术对X射线光学的影响
机译:结合激光和微细加工技术的探针制备
机译:制备用于微细加工技术的低泄漏电流和高击穿电压的薄层电容器,
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