用热丝法在硬质合金基体上沉积金刚石膜的研究

摘要

用XRD ,SEM和Raman光谱仪、洛氏硬度计等分析检测手段 ,研究了经表面两步法侵蚀后 ,YG15硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、显微组织、化学纯度及粘结性能等。结果表明 ,硬质合金基体表面一定深度范围内钴含量的变化 ,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态、化学纯度及粘结性能等有很大影响。①在基体表面深度约为 5 μm范围内 ,当钴含量为 0 .81%时 ,金刚石薄膜具有明显的 { 111}面取向 ,其金刚石纯度较高 ;而当钴含量为1 0 5 %时 ,具有 { 110 }和 { 111}面的混合取向 ,其金刚石纯度较低 ,且其薄膜具有较高的内应力。②当CVD沉积温度为 80 0℃时 ,金刚石薄膜的晶粒度约为 1～ 3μm。③与多边形金刚石薄膜相比 ,菱形金刚石薄膜与硬质合金基体具有较高的粘结性能。