硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺

摘要

本发明针对目前的现有的硬质合金表面沉积CVD金刚石膜预处理工艺中棱边和尖角上脱Co的速度比面上脱Co的速度快，造成棱边和尖角处强度降低，影响产品的性能，甚至还会造成棱边和尖角蚀损等问题，发明了一种硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺，它的主要工艺流程为：抛光(1)→清洗(2)→刻蚀WC(3)→清洗(4)→第一次刻蚀Co(5)→清洗(6)→干燥(7)→涂胶(8)→第二次刻蚀Co(9)→清洗(10)→溶胶(11)→植晶(12)，尤其是其中的涂胶工艺保证了硬质合金表面预处理后满足CVD金刚石膜的沉积需求，同时使得硬质合金产品棱边和尖角脱Co量与面上的脱Co量基本一致，保证了棱边和尖角处强度，提高了CVD金刚石膜的性能。