抛光对化学气相沉积金刚石自支撑膜断裂强度的影响

摘要

研究了抛光对化学气相沉积金刚石自支撑膜断裂强度的影响.结果表明,金刚石自支撑膜粗糙表面所带来的V形缺口会降低其断裂强度,而且随着膜厚的增加,降低的程度越明显,通过抛光粗糙表面,消除了V形缺口对断裂强度的影响,有利于提高金刚石膜的抗破坏能力.提出了一种金刚石膜断裂强度的经验计算方法,获得的断裂强度值更接近于金刚石膜的本征断裂强度.