首页> 中文期刊> 《激光技术》 >激光抛光化学气相沉积金刚石膜

激光抛光化学气相沉积金刚石膜

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

讨论了激光抛光金刚石膜机理、影响因素,分析了激光抛光金刚石膜理论模型、激光抛光后金刚石膜的粗糙度极限,提出要实现金刚石膜特别是厚膜的精密抛光须考虑激光辅助复合抛光或其它抛光工艺.

著录项

来源
《激光技术》 |2003年第2期|106-109|共4页
作者
季国顺; 张永康;
展开▼
作者单位

江苏大学激光技术研究所,镇江,212013;

江苏大学激光技术研究所,镇江,212013;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;非金属材料;
关键词
CVD金刚石膜; 激光抛光; 表面粗糙度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 抛光对化学气相沉积金刚石自支撑膜断裂强度的影响 [J] . 陈良贤 ,李成明 ,陈飞 . 理化检验-物理分册 . 2008,第007期
2. 一种激光化学气相沉积金刚石膜的方法（专利号：95111978．8） [J] . . 工业金刚石 . 2004,第006期
3. 化学气相沉积金刚石膜的工程应用 [J] . 王光祖 ,崔仲鸣 . 超硬材料工程 . 2020,第001期
4. 高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究 [J] . 唐春玖 ,侯海虹 ,李明法 . 常熟理工学院学报 . 2017,第002期
5. 热丝化学气相沉积金刚石膜温度场的仿真模拟与应用 [J] . 黎韩琪 ,栗正新 ,苑执中 . 中原工学院学报 . 2015,第003期
6. 金刚石膜红外光学窗口的化学气相沉积技术 [C] . 唐伟忠 ,于盛旺 ,李成明 . 第九届全国光电技术学术交流会 . 2010
7. 化学气相沉积碳氮膜及金刚石膜的研究 [A] . 唐见波 . 2008

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号