机译:偏压增强微波等离子体化学气相沉积法在镜面抛光硅衬底上沉积和表征纳米晶金刚石膜
机译:偏压增强微波等离子体化学气相沉积法在镜面抛光硅衬底上沉积和表征纳米晶金刚石膜
机译:微波等离子体化学气相沉积法促进纳米晶金刚石膜的偏向生长
机译:微波等离子体化学气相沉积法促进纳米晶金刚石膜的偏向生长
机译:微波等离子体化学气相沉积硼掺杂纳米晶金刚石膜的微观结构和增强现场电子发射性能
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
机译:使用He / H2 / CH4 / N2气体混合物通过微波等离子体化学气相沉积法合成超光滑纳米结构金刚石膜
机译:微波等离子体增强化学气相沉积法沉积厚而薄的纳米晶金刚石膜