扫描电子显微镜低真空模式的应用

摘要

低真空模式是扫描电镜的一种新型观测模式,它的最大特点是可以对不导电样品直接进行观察。这样既避免了不导电样品表面由于电荷累积产生的假象,又省去了对样品表面进行导电喷镀,还有利于不导电样品其他信息的检测与分析。此外,扫描电镜低真空模式还可以对低致密度或多孔样品进行直接观察,这是高真空模式无法取代的。