洛埃镜干涉微小尺度测量系统的研究

摘要

设计了一款利用洛埃镜干涉进行微小尺度测量的系统.该系统利用机械的杠杆原理,将微小尺度的改变反映在镜面与光源的垂直距离上,相当于改变洛埃镜干涉系统中光源与虚光源之间的间距,从而干涉条纹的宽度将相应的发生变化.利用光电池将光信号转化为电信号,并通过信号的放大和模数转化,最终在计算机上显示干涉条纹.通过相应的测量公式就可以得知待测物体的微小尺度.对标准塞尺的测量结果显示,该系统具有精度高,操作简便,测量迅速等优点.