采用电子回旋共振增强化学气相沉积气法制备传统及梯度光学薄膜

摘要

多层膜形成了现代光学薄膜技术的主流。这种结构的膜层的设计和制备技术已经发展到了一个高级的阶段。但近来,人们对具有梯度折射率的光学薄膜引起了较大的兴趣。在这种膜系的设计方面取得了一定的进步,特别是采用Fourier变换方法。然而。