机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)
机译:氢流对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化非晶碳膜性能的影响
机译:工艺参数对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法处理氢化非晶碳膜结构的影响
机译:由电子回旋共振等离子体制备的非晶Si_xC_yN层增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)。
机译:射频偏压对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法沉积氢化非晶硅性能的影响
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:离子轰击能量通量对自由基注入等离子体增强化学气相沉积生长的化学成分对化学成分的影响和氢化非晶碳膜的结构
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。