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磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜

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摘要

通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用.由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率.

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来源
《中国新技术新产品》 |2019年第5期|12-13|共2页
作者
张敏; 杜鹃;
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作者单位

青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司;

青海西宁810000;

青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司;

青海西宁810000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
直流磁控溅射技术; 低温制备; 高电导; 高透明; 氢掺杂AZO薄膜;

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