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机译:反应性高功率脉冲磁控溅射在室温下沉积均匀,高透明且导电的Al掺杂ZnO薄膜
Transparent conducting oxide; AZO; Thin films; Electronic properties; HiPIMS;
机译:反应性高功率脉冲磁控溅射在室温下沉积均匀,高透明且导电的Al掺杂ZnO薄膜
机译:室温下制备的透明导电掺铝ZnO薄膜的高速率反应大功率脉冲磁控溅射
机译:在环境温度下制备的透明导电AL掺杂ZnO薄膜的高速反应性高功率脉冲磁控溅射
机译:高导电/透明ZnO:通过RF磁控溅射沉积在室温下的Al薄膜
机译:用于薄膜晶体管应用的氧化锌的反应性大功率脉冲磁控溅射
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:通过反应高功率脉冲磁控溅射均匀,高度透明和导电Al掺杂ZnO膜的室温沉积