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虞益挺; 苑伟政; 梁庆; 乔大勇;
西北工业大学微纳米系统实验室;
薄膜; 残余应力; 微型光栅; 有限元仿真;
机译:使用MEMS结构确定的3C-SiC(100)薄膜的力学性能和残余应力
机译:利用MEMS结构确定3C-SiC(111)薄膜的力学性能和残余应力
机译:在MEMS加速度计设计中AIN(0002)薄膜生长和残余应力的影响
机译:使用过程建模技术薄膜麦克风对MEMS麦克风的薄膜残余应力评估
机译:MEMS薄膜中的残余应力。
机译:基于水泡试验技术的残余应力薄膜/基体系统表面和界面力学性能同步表征的理论研究
机译:MEMS中薄膜残余应力的有限元模拟
机译:mEms中材料的可靠性:微型发电系统中的残余应力和粘附力。
机译:利用残余应力和压电驱动力的RF MEMS开关,包括弹性支撑部件,下部电极,压电薄膜,上部电极,电枢和高频输入电极和输出电极
机译:叠层压电薄膜结构,用于测量残余应力,可有效测量压电薄膜的残余应力
机译:薄膜的残余应力测量装置及薄膜的残余应力测量方法
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