离子注入用强流微波离子源

摘要

一种用于强流离子注入的新型2.45GHz微波离子源已由Varian公司研制成功。该源使用永磁铁产生ECR磁场。与典型的螺线型磁场微波源相比,这种源具有设计简单、结构紧凑的特点。利用强磁场和高微波功率密度,引出硼束流中^(11)B^+离子含量可达30％。以前对有关离子注入用微波离子源的研究中,通常都没有涉及到对评估离子源实用性很重要的引出B离子时离子源的性能或寿命,这是由于引出硼离子的微波离子源性能较差且寿命有限。本文对BF_3源的特性和寿命特征作了详细的论述。