紧凑型强流微波离子源

摘要

描述一台紧凑强流微波离子源，共振磁场由紧凑的电磁线圈软铁回路产生，离子源一方具有紧凑轻巧的特点，另一方面线圈产生的可调磁场能使放电处于最佳条件，实验研究了气压，放电功率及共振磁场对放电及引出的的影响。初步的实验在６００Ｗ的放电功率下，从４ｍｍ引出孔引出了３５ｍＡ的离子流（Ｊ－２９０ｍＡ／ｃｍ〈’２〉），引出离子的质子比超过９０℅。