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'99全国荷电粒子源粒子束学术会议

召开年：1999
召开地：成都
出版时间： 1999-10

主办单位：中国电工技术学会;中国电子学会;中国电机工程学会

会议文集：'99全国荷电粒子源粒子束学术会议论文集

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1.HDZ-6型电子束焊机用高精度工作台数控软件的编制
- 薛兴;钟庆华
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍HDZ系列电子束焊机工作台数控系统的发展状况，给出HDZ-6型电子束焊机数控焊接系统的软硬件结构，以及控制软件的编制，并对电子束焊机数控焊接的特殊情况进进一步的讨论。
2.电子束焊机用高压电源的应用进展
- 叶汉民
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：介绍了电子束焊机用高压电源的应用特点。结合目前国内外的典型电子束焊机用高压电源的应用概况，认为高压电源的发展方向应该是高效率和小型化，以适应现代工业的发展。
3.铝合金薄板的电子束焊
- 奚瑾
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
4.走向工业应用的离子辅助光学镀膜技术
- 尤大伟;李晓谦;王怡德;林永昌
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍一种新型等离子体输助镀膜技术，使用该技术可使高质量的光学镀膜直向大量生产这一前景成为现实。该技术核心是无栅等离子体源(GIS)。GIS可以生产大面积的均匀等离子体，面积大于1000mm直径。等离子体离子流强度高达0.5ma/cm<'2>，离子流能量20-200eV，并能激活反应气体O<,2>及蒸发原子，用GIS进行的离子体离子辅助镀膜这一技术现正用于生产高质量的光学薄膜。
5.离子束技术在生物工程中的应用
- 王向晖;张峰;李昌荣;郑志宏;俞柳江;柳襄怀
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：人类很早就开始使用生物材料。对于生物材料而言，不仅要有良好的物理化学性能，还应具有良好生物相容性。选择一个具有良好机械性能的基体并对其进行表面修饰是一种获得良好的生物材料的好方法。采用离子束输助沉积的方法在热解碳基体上制备氧化钛薄膜，用以提高人工心脏瓣膜的血液相容性。采用掠角衍射、XPS和RBS对所制备的氧化钛薄膜的结构及化学成分进行分析，其结果表明所制备的薄膜是一种缺氧的、微结晶型的氧化太薄膜，其表面能的极化分量为5.2达因／厘米，色散分量为2.4达因／厘米。血小板吸附及动物体内实验表明，该氧化钛薄膜的血液相容性优于热解碳。
6.大厚度钛合金零件电子束焊接质量控制
- 房晓辉;马翔生
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：介绍了航空结构大厚度钛及钛合金零件电子束焊接的一些工艺措施以及控制接头残余应力、气孔、氢致裂纹等缺陷的方法。
7.离子源的发展与现况
- 张华顺
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文综述了离子源发展的历史和现况，着重总结离子源这门学科发展的规律及其研究方法的特点。
- 离子源;
- 加速器;
8.近物所ECR离子源进展
- 赵红卫;张子民;张雪珍;郭晓虹
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：近物所14.5GHzECR离子源自建成后已调试出十七种离子，并首次成功地为加速器提供金属离子。自行研制的2.45GHz全永磁质子源达到了国际同类先进水平。
9.紧凑型强流微波离子源
- 崔保群;蒋渭生
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文描述一台紧凑型强流微波离子源，共振磁场由一个小的电磁线圈及软铁回路产生，离子源一方面具有紧凑轻巧的特点，另一方面线圈产生的可调磁场能使得放电处于最佳条件。料验研究了气压，放电功率及其振磁场对放电及引出的影响。初步的实验在600W的放电功率下，从直径4mm引出孔引出了35mA的离子流(J=290mA/cm<'2>)，引出离子的质子比超过90℅。
10.高压电子束连续焊接设备的研制
- 黄以平;李少林;宋宜梅
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：简述了双金属然的优越性及双金属锯带电子束焊接生产线的国内外概况：介绍了HDG(Z)6型双金属锯带高压电子束连续焊接生产线的总体情况、设备与工艺的主要技术参数和要求；论述了设备研制的主要技术关键及设计特点，对研制中所考虑的某些关键因素进行了定性分析。
- 双金属锯带;
- 高压电子束焊机;
11.PET用正电子放射性药物现状
- 唐志刚;张蔚;徐志民;黄正新
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
- PET;
- 放射性药物;
12.用磁控溅射镀膜方法制备高效太阳能吸收膜
- 张入通;王文生;孟晖;张朝
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
13.PSII的计算机监控系统
- 陈庆川;霍岩峰;冯铁民;崔西蓉;耿漫
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：为了实现装置工艺参数的可重复性，并有效掏设备运行过程中由射频源、微波源、金属源和高压脉冲电源产生的种种上电磁干扰对设备性能及人身安全的影响，开发了一套计算机控制系统以负责对设备的远程监控，该系统由一台康拓KT8500工控机及一些接口板组成，具有实时性强、操作方便、抗干扰能力强等特点，并具有友好的Windows95人机交互界面。测试表明，该系统安全、可靠，是一种较为理想的经济柔性控制系统。
14.离子注入对人造金刚石的金属化性能的影响
- 崔西蓉
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：叙述了在多功能工业离子注入机上采用20-60KeV金属钛离子及氮离子注入人造金刚石晶体的实验研究。XPS分析表明，注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的表层结构。离子注入使其高温石墨化性能显著改善。金刚石烧结体的磨耗比和万能材料试验机上的抗压实验表明，磨耗比、抗压强度、抗拉强度显著提高。 SEM分析发现金属离子的注入使金刚石表面金属化，与胎体的结构加糨，而氮离子注入则没有显著变化。
15.空心阴极真空电弧焊接研究和设备研制
- 刘志华;赵青;李德清
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍了空心阴极真空电弧焊接研究和设备研制情况以及钛合金试板焊接工艺试验结果。这是国内研制的第一台空心阴极真空电弧焊接设备。
- 空心阴极;
- 焊接;
16.高品质激光雕刻工艺研究及应用
- 叶建
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：概述了YAG激光雕刻系统组成、工作原理及激光雕刻工艺参数对雕刻质量的影响，并对激光雕刻的应用作了较详细的介绍。
17.夏商周断代工程中EN-AMS加速器的机械与真空工程的改造
- 张征芳;张桂筠;袁敬琳;于茂林;刘智辉
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
18.ZDB系列Solvay制冷机型低温泵及应用
- 罗吉友
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：介绍研制的Solvay制冷机型低稳泵的压缩机，改进型Solvay两级膨胀机，低温泵体的结构及特眯。简要介绍该系列低温泵的应用情况。
- 低温泵;
- 抽气原理;
19.PLC在图象处理系统中的应用
- 杨方立;夏宇正;卢贵喜;舒方武
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
- PLC;
- 图象处理;
20.电子束焊接技术的某些应用前景及与激光焊接的综合比较
- 林世昌;丘宁茂
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：电子束焊接技术作为先进制造技术的一个级成部分，由于它具有许多独特优点，已在众多领域得到广泛应用。该文着重介绍电子束焊接在汽车工业和电子仪表工业中的一些应用范例；并讨论电子束焊接与激光焊接的综合比较。
21.航空、航天领域中的电子束焊接技术
- 周广德;陶守林
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该广间述在航空、航天领域有重要用途的钛合金与铝锂合金的电子束焊接特点，该技术对另件结构设计影响，以及航空、航天领域对电子束焊接设备一些特殊要求。
22.RFQ加速器同时加速同q/m正负离子的进展及可能应用
- 于金祥;陈佳洱;任晓堂;陆元荣
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文提出了用RFQ加速器同时加速同荷质比正负离子的机理，并利用现有的ＲＦＱ加速装置进行了实验验证。初步结果表明采用这一方法可有效地提高RFQ加速装置的载速能力，并可用于洁净核能源、强流氧离子注入及离子束材料改性等应用领域。
- 加速器;
- 正负离子;
23.核孔膜辐照专用束流线的研制
- 秦久昌;张桂莲;崔心炜;胡跃明;杨丙凡
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该核孔膜辐照束流线。在没有扫描装置条件下，采用有效措施，使束流展宽大于30mm×300mm。辐照真空盒上安装有观察窗，其内有荧光屏，可观测束流展宽尺寸；有Y方向移动法拉弟筒，用于测量束流稳定度，并控制核孔膜辐照速度；有X方向移动的三法粒弟筒装置，用于测量束流的均匀性。
24.北京大学300KeV与1MeV离子注入用RFQ加速器
- 方家训;陆元荣;李纬国;郭菊芳;于茂林
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：RFQ（高频四极场）加速器是适用MeV级能量离子注入用的强流瓣型直线加速器。北京大学在1994年建成了第一台300KeV RFQ加速器后，在其基础上又继续开展了1MeV RFQ加速器的研制。今年7月一台长2.6米的26MHz RFQ已将O<'+>离子加速到了设计值1MeV的能量，该文介绍了这台RFQ加速器及其主要指标。
25.HI-13串列加速器加速管绝缘环的研制
- 侯德义;张桂莲
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：为HI-13串列加速器加速管研制的需要，开展了加速管绝缘环的研制，对绝缘环的设计、加工工艺进行了研究，文章简要介绍了绝缘环设计加工的有关技术问题。
26.HI-13串列加速器RI<,80>-10型电阻分压器的研制
- 张桂莲;秦久昌;侯德义;杨丙凡
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍了新型研制的RI<,80>-10型电阻／框架式屏蔽分压器及其在 HI-13串列加速器上的运行情况，从加速器上安装了RI<,80>-10型电阻器替代RHY-35型电阻器后，串列加速器表现出良好的工作性能，高压稳定，安全可靠，从而，从而，提高了串列加速器的高压性能和运行效率。
27.荷电粒子不同电荷态的实验分离
- 刘希举
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：对磁场中荷电粒子磁刚度表达式作了深入讨论，给出了一个选择不同电荷态粒子的磁铁电流关系式。
28.用IAC技术制备DLC膜的性能研究
- 朱启良;林美娟;过骐千;王锦辉;周灵平
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文简单介绍利用离子束辅助镀膜(IAC)设备沉积类金属刚石碳(DLC)膜的工艺，并对沉积的DLC膜的硬度、电阻率、结合力等乾地测试分析研究，以便为DLC膜的开发应用提供工艺依据。
- 离子束镀膜;
- 类金刚石碳膜;
29.几种离子束强化技术在印制板刀具上的应用研究
- 朱绍华;谭俊;张振学;徐龙堂;陈罡;肖宏清
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍了几种离子束表面强化技术，研究了其工艺特点，并对强化膜层的特点、结构及成分等进行了分析研究，根据优化的工艺对印制板钻头和铣刀进行了强化，取得了良好的反应效果。
30.装上新的自动换靶装置的负溅射源的总体试验及负集团束的研究
- 杜光天;张继东;朱锦华;斯厚智;张维忠
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：简单介绍在机械和电控方面做了重大改进的自动换靶装置装到改进过的源体的总体试验。集团束是目前核物理的研究特点，该文介绍用的源对C、Si和Al等元素进行集团束的研究结果。对影响集团束产生的因素及提高集团束流强的方法提出的见解。综合世界研究结果，列表给出周期表各元素用强流负溅射源产生的负单了束和负集团束的流强。
31.强流负离子束系统的数值模拟研究
- 王惠三;简广德
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：根据负离子－中性不注入器中强流负离子束引出、加速系统的特点，建立了为辅助设计强流负离子束系统而对其进行数值模拟研究的模型和计算程序，计算了负离子束和伴随引出的电子束在系统电、磁场共同作用下的运动行为，研究了系统束流密度负离子初始温度以及负离子剥离损失和末电极孔位移等相关参数对负离子束光学特性的影响，并对系统的电、磁场位形进行了优。
32.低能强流细不电子束的研究
- 郑思孝;缪况威
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍低能经流细束电子束的研制，研究了独立阳极和单透镜的组合，在高电引出后减速，经单透镜聚焦传输，获得了比同样能量的纯单透镜引出流经高1/3的电子流强，讨论了电子束流强与能量及电子枪各参量间的相互影响的关系。
33.电子束双偏转扫描系统的设计
- 康念坎;王理明;张福安
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：与透镜后偏转系统相比较，透镜前双偏转系统具有可采用较小的工作距离和容易实现电子束垂直着靶等优点，而且通过在两偏转线圈之间设置一个转角可以降低复合磁聚焦偏转系统象差。该文对系统的结构和电气参数对电子光学特性的影响进行了计算机模拟，从中找出了最佳的工作参数，并提出了一种能较好地满足计算精度要求的偏转器结构设计。
34.PSII-IM装置用100kV高压脉冲调制器的研制
- 霍岩峰;陈庆川;童洪辉;冯铁民;邵益光;穆莉兰
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文通过对PSII装置的工作原理的简单介绍及对PSII-IM装置负载模型的分析、计算，推导出了该装置等离子体负载与其等离子体参数的关系式，从而得出了该装置的等离子体负载的特性曲线，为该电源的设计及调试提供了重要参考。并对在此基础上设计、研制的100kV高压脉冲调制器作了重点介绍。
- 等离子体负载;
- 高压脉冲调制器;
35.MP ECR 离子源金属离子的产生
- 张子民;赵红卫;张雪珍;高级元;赵玉彬
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：讨论ECR离子源金属供料方法，中科院近物所在14.5GHzECR离子源上应用炉子加热和MIVOC法获得<'40>Ca<'11+>140eμA和<'56>Fe<'10+>65eμA，并对实验过程和结果作了分析。
36.45GHz ECR 等离子体源
- 孙官清;刘仲阳;张大忠;陈剑宣;钟光武
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文简要描述了一台频率为2.45 GHz 的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件87.5mT，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度0.1￣1 Pa间均能运行。由石英、 Al<,2>O<,3>陶瓷和BN构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率200￣700W间，反射系数仅为1℅，等离子体密度达5.8×10<'11>cm<'-3>，电子温度为3￣12 eV，该源的寿命超过300小时。
- 电子回旋共振;
- 等离子体源;
37.45GHzECR等离子体源
- 孙官清
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文简要描述了一台频率为2.45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。
- 电子回旋共振;
38.MPECR离子源金属离子的产生
- 张子民
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：讨论ECR离子源金属供料方法，中科院近物所在14.5GHzECR离子源上应用炉子加热和MIVOC法获得<'40>Ca<'11+>140eμA和<'56>Fe<'10+>65eμA，并对实验过程和结果作了分析。
- ECR离子源;
39.电子枪合轴系统的设计及应用
- 姜兴
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文论述了电子束焊机中电子枪合轴系统的原理、作用。
- 合轴系统;
40.高能强流大面积矩形气体离子源的研制
- 唐德礼;耿漫;王经权;蒲世豪;于毅军;莫志涛
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：随着离子注入材料表面改性技术在科研和工业领域的日益发展，人们对离子注入的核心部件－离子源的要求日益提高。为获得大面积、强流和高能且均匀的离子束流，一种新型的高能强流大面积矩形气体离子源被研制出来。该离子源采用轴向永磁会切场和热灯丝放电产生等离子体，由四栅多孔引出系统引出平行的离子束流。加速电压可达到100kV，最大引出速流100mA，束截面为矩形320mm×150mm。在长方向上束流密度的不均匀性小于±10℅。可以较好地满足离子注入材料表面改性工业生产的要求。
41.电子束焊机用高压电源短路电流计算及防护措施
- 钟庆华;余江文
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文对电子束焊机用高压电源在短路故障下的短路电流进行了模拟计算，为保护元件参数选择提供了根据。
42.一种用于电子束焊接的可调偏摆工作台研制
- 赵保宁
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文论述了电子束焊接用的可调偏摆旋转工作台的工作原理、性能优点和设计计算方法。
43.巴顿所60KW、60KV真空电子束焊机高压电源的分析和在应用中稳定束流的措施
- 刘沛雨;金家东
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文先介绍了乌克兰巴顿研究所60KW、60KV真空电子束高压电源的特点，高压整流器、调整电子管、栅偏压电子管主回路及其控制系统的基本原理。根据对该设备电气图纸的学习、研究和在实际焊接工作中发现的问题进行分析和讨论对巴顿所60KW、60KV真空电子束高压电源进行评价。最后对在实际的焊接工作中改进、提高设备性能，提出一些稳定焊接束流的措施。
44.离子注入在航空液压泵配流副上的应用
- 尹克里
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：对柱塞式航空液压泵配流副的渗氮钢配油盘进行N<'+>离子注入后，经三种型号液压泵，五台次的累计2400h试车考核证实：离子注入技术对提高航空液压泵的寿命和可靠性有显著效果。
45.等离子体浸没离子注入(PIII)技术在现代材料表面改性中的应用及发展
- 赵青;耿漫
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文综述了80年代发展起来的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术－等离子体浸没离子注入(PIII)，待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CBII)技术的主要特点，还具有许多独特的优点。将系统介绍该技术在现代材料表面改性中的各方面应用及发展。
46.电子束焊接技术在航天工业中的应用
- 刘春飞;张益坤
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：介绍了电子束焊接技术的发展概况及在国内外航天工业中的应用。
47.填丝电子束焊接工艺的应用
- 张毓新;王文成
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文就填丝电子束焊接方法进行了初步探索，并针对影响焊缝成形的主要因素作了简要分析。
48.2.45GHz ECR 等离子体源
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文简要描述了一台频率为2.45 GHz 的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件87.5mT，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度0.1￣1 Pa间均能运行。由石英、 Al<,2>O<,3>陶瓷和BN构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率200￣700W间，反射系数仅为1％，等离子体密度达5.8×10<'11>cm<'-3>，电子温度为3￣12 eV，该源的寿命超过300小时。
49.IMP ECR 离子源金属离子的产生
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：讨论ECR离子源金属供料方法，中科院近物所在14.5GHzECR离子源上应用炉子加热和MIVOC法获得<'40>Ca<'11+>140eμA和<'56>Fe<'10+>65eμA，并对实验过程和结果作了分析。
50.电子束焊机PLC控制变束流自动焊接
- 李少林
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍了电子束焊机PLC变束流焊接控制的原理、组成及实现方法。着重分析了变束流焊接的PLC程序设计，并指出了实现更复杂的多变参数焊接的设想。
51.离子注入对人造金刚石顶锤的表面改性
- 铁军;耿漫;沈丽如;吴毅
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：叙述了在GLZ-100E工业离子注入机上采用氮离子和钛离子注入人造金刚石顶锤的表在改性研究。通过离子注入后的顶锤提高了表面硬度，延长了顶锤的使用寿命，提高人造金刚石顶锤的综合性能。
52.C<,60>薄膜的离化团簇束沉积及离子掺杂
- 傅德君;雷园园;李金钗;叶明生;彭友贵;范湘军
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：用离化团簇不(ICB)沉积法在石英玻璃和云母衬底上形成了C<,60>薄膜，XRD测试表明膜呈多晶结构，原位电阻测试表明膜的室温电阻率超过10<'4>Ωcm，具有负的电阻温度系数。用80keV P<'+>，BBr<,3><'+>，Ar<'+>和He<'+>对C<,60>膜作剂量范围为0-10<16>cm<'-2>的离子注入，C<,60>膜的电阻率随注入剂量增加而急剧下降，磷注入具有n型掺杂作用，离子与C<,60>分子的相互作用导C<,60>发子分裂，引起薄膜表面非晶化。
53.嵌埋ZnO团簇的结构及光学性质研究
- 赵子强;刘莉;韩朝晖
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
54.离化团束沉积装置的研制
- 唐德礼;耿漫;蒲世豪;邵先华;谢锋;莫志涛
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：在材料表面改性领域，离子团束(ICB)沉积技术在半导体和其它功能膜方面应用日益广泛。该文简单介绍了研制的离化团束沉积实难装置以及在此装置上进行的一些初步实验，并分别在硅片上沉积的Cu和Al膜。 Cu和Al膜的AFM图象显示沉积膜的表面粗造度的均方根值约为10<'0>-10<'1>埃，接近或达到原子级别。
55.柔性激光加工技术
- 杨逸民
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：介绍了柔性激光加工机的技术性能，结构特性，并列举了一些加工实例。
56.PSII工业样机用平面磁控溅射靶设计及工艺实验
- 穆莉兰
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：根据全方位离子注入(PSII)工业样机实验和应用的需要，由等效电流磁场计算法获得的数据结果，设计了一种平面磁控溅射靶。并利用此平面磁控靶在一定的Ar、 N<,2>气体分压及不同电流、电压条件下，成功地制备出金黄色氮化钛薄膜，并利用台阶轮廓仪测量了TiN薄膜的沉积速率，表明该靶TiN薄膜的沉积速率能满足增强沉积TiN涂层的需要。
57.<'14>N<'+>注入GCr15中的强化机制的探讨
- 汪亮明
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：<'14>N<'+>离子注入GCr15钢后，使得钢的表面显微硬度、摩擦磨损性能和化学稳定性得到改善。利用透射电子显微镜和选区电子衍射分析方法，可以得出其强化机制可能为：间隙原子固溶强化；第二相弥散强化；位错胞状缠结；非晶组织产生；碳化物细化中的一种或几种作用的结果。
58.我国近年高能X射线无损检测技术发展
- 黄正新;孔宇栋;冬晓平
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：“八五”期间，国家高级X射线无损检测技术获得重大发展，研制成功两种9MeV高能X射线在线无损检测实时成像系统，第一种用于工业无损检测，第二种用于海关集装箱无损检查，并且，前者形成了2、4、6、9MeV系列产品，进入国内外市场。目前在开发1.5-2MeV三种不同波段的便携式无损检测用电子直线加速器和 6-9(11)MeV机动式高能X射线实时成像系统。此外，高能X射线工业CT技术也已取得可喜成果。这标明中国高能X射线无损检测技术已发展到一个新的阶段。
59.浅谈集装运输在线无损检测实时成像系统
- 刘根堂;孔宇栋;徐景;黄正新
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文简要评述了集装运输在线无损检测实时成像概况，并提出了一些看法供探讨、交流。
60.高能X射线工业无损检测自动控制方案
- 郭彦斌
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：应用现场总线技术将三套独立的射线无损检测设备统一管理控制的方案。能够将二套设备的控制操作及图像采集和处理集中在一台计算机上进行。使设备间的数据（输入和输出数据、参数设置、诊断数据、程序和现场设备运行状况等）共享成为现实，并可方便实现开关机操作次数记录、设备运行状况记录、关键部件工作时间记录等。新的总线技术下保留了原有的独立控制操作方式。为设备安装调试、检修和大型工件的无损检测工作，提供了足够的方便和灵活性。为移动式（车载式）无损检测系统提供了远距离监控操作的可能。
61.氮化碳超硬复合膜的结构分析
- 彭友贵;傅德君;刘传胜;高鹏;叶明生
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：用直流反应磁控溅射－多弧离子镀技术，在高速工具钢基体上沉积C<,3>N<,4>/TiN复合超硬薄膜。薄膜中存在β-C<,3>N<,4>和α-C<,3>N<,4>六角晶系硬质相氮化碳，用XRO和TED两种方法同时观测到薄膜中还存在立方晶系c-C<,3>N<,4>和p-C<,3>N<,4>，复合膜的显微硬度46.7GPa，用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。
62.IBAD MoS<,2>-Ag复合膜的氧化行为研究
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：用XPS分别检测了在相对湿度60-75％的室温环境存放60天和100％湿度环境存放45天以及在435℃高温加热1小时的离子束辅助沉积MoS<,2>-Ag复合膜中Mo与S元素的化学态。发现在100％湿度和430℃高温环境，MoS<,2>-Ag复合膜的抗氧化特性远优于同条件沉积的纯MoS<,2>复合膜。结合XRD分析，讨论了该膜抗氧化性能提高的可能机制。
63.分子离子束引起固体表面的非线性效应
- 李欣年
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：通过对溅射原子角分布的测量，研究分子离子束轰击固体表面时引起表面原子溅射的非线性效应。分子离子(FeCl<'+>和CuCl<'+>)以及相应的组分原子离子(Fe<'+>和，Cu<'+>和Cl<'+>)以每单位质量相同的能量分别轰击金属Ag和Au的表面。庐瑟夫背散射(RBS)被用来测量溅射率，扫描电子镜(SEM)被用来观察离子轰击后固体表面形貌的改变。在所有情况下，发现分子离子束轰击引起的溅射率高于相应的组分原子离子产生的溅射率的和。文中还论了溅射率增强的机制。
64.离子注入技术应用实例
- 王珂;沈丽如;童洪辉
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文主要介绍了泥浆泵缸套离子注入表面改性、航空液压泵配流盘离子注入表面改性两项工艺。离子注入处理后的缸套使用寿命提高了２倍，配流盘单位行程回油量下降到处理前的1/16。
65.应用多极场分析电子束散焦
- 张晓兵;尹涵春;雷威
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文应用多极场理论对彩色显象管中偏转散焦进行了分析，对三束的分析应分别考虑电子束所在的偏转场中的位置，多极场展开式中的四极场分量是影响偏转散焦的主要因素。
66.MEVVA金属离子源弧电源的改进
- 蒲世豪;马山明;龚晓荣;赵军
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：介绍在现有弧电源基础上进行的几点改进工作，主要是改造主弧电源和设计阴极自动推进电路，此项工作对于MEVVA金属离子源的推广运用具有很强的实用价值。
67.弗里曼源弧放电高温等离子体产生N<'+><,10>簇团的初步研究
- 郑思孝;刘仲阳;廖小东;孙官清;王培录
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文介绍费里曼源N<,2>弧放电高温等离子体中存在N<'+><,10>簇团的新结果，研究并获得了气体流量、辅磁、弧功率参量对N<'+><,10>簇团的流强的影响规律。
68.狭缝型永磁微波离子源在离子注入轴承方面的应用改进
- 白玉兰;王锦辉;厉学文
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文简述了狭缝型永磁微波离子源为适应轴承的离子注入应用而所作的改进。
69.600KV脉冲中子发生器的高频离子源改进
- 刘乃义
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
70.对离子源引出区真空系统的改进
- 王雪梅;沈定予;赵强
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：在北京大学1.7MV串列静电加速器两个离子源的引出区分别安装了小型分子泵，提高该区域的真空度，期望增加从离子源引出负离子的束流强度。结果，He<'->流强增加了近30℅，对溅射负离子源的流强却无影响。
71.MEVVA金属离子源电气系统的研制
- 龚晓荣;唐德礼;蒲世豪
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：利用离子注入技术进行材料表面改性，具有不改变工件的几何尺寸和材料的基体性质，蝗高材料表面的硬度，抗磨损，耐腐蚀，抗疲劳，降低摩擦系数等特点。MEVVA金属离子源是八十年代中期发展起来的新型强流离子源，该源具有可产生金属离子种类多、离子束纯、束流大、电荷剥离态高等优点。MEVVA金属离子源利用真空弧放电原理产生高密度金属等离子体，在引出电场作用下，形成强流离子束。
72.自动变速车液力扭变器涡轮组件电子束焊机的总体设计
- 丘宁茂
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
73.40Cr钢的电子束焊接
- 潘兴龙
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文就40Cr钢采用电子束焊接过程中出现的具体问题展开讨论，针对该钢种的特点，通过不断的试验，提出了降低裂纹敏感性及防止裂纹出现的工艺措施，获得了较为满意的结果。
74.电子松合轴系统的设计及应用
- 姜兴;韦寿祺
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：该文论述了电子束焊机中电子枪合轴系统的原理、作用。主要讲座了在HDZ系列电子束焊接设备中首次安装的电磁合轴系统的研制、调试与结果分析。从调试及结果中可以看出合轴系统不仅对聚散焦的合轴有改善，并对束斑的质量亦有改善。
75.BAD MoS<,2>-Ag复合膜的氧化行为研究
- 王培录;刘仲阳;廖小东;苟富君
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：用XPS分别检测了在相对湿度60-75℅的室温环境存放60天和100℅湿度环境存放45天以及在435℃高温加热1小时的离子束辅助沉积MoS<,2>-Ag复合膜中Mo与S元素的化学态。发现在100℅湿度和430℃高温环境，MoS<,2>-Ag复合膜的抗氧化特性远优于同条件沉积的纯MoS<,2>复合膜。结合XRD分析，讨论了该膜抗氧化性能提高的可能机制。
76.BADMoS<,2>-Ag复合膜的氧化行为研究
- 王培录
- 《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》 | 1999年
摘要：用XPS分别检测了在相对湿度60-75％的室温环境存放60天和100％湿度环境存放45天以及在435℃高温加热1小时的离子束辅助沉积MoS<,2>-Ag复合膜中Mo与S元素的化学态。
- 离子速辅助沉积;