电子束制作高分辨率波带片图形数据研究

摘要

根据圆环内部和相邻环分割单元之间的位置关系,设计了无间隙拼接处对齐和错开、有间隙拼接处对齐和错开四种结构模型.通过分析和比较这四种不同结构的高分辨率波带片图形数据,给出图形数据量和剖分单元数的变化关系曲线.根据扫描电子显微镜得到的实验结果,决定采用无间隙拼接处错开的模型.在使用负性抗蚀剂SAL601,电子束曝光剂量35μC,前烘温度75℃等条件下,制作出了最外环宽度为250 nm的波带片.