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邱万奇; 蔡明; 钟喜春; 余红雅; 刘仲武; 曾德长;
华南理工大学材料科学与工程学院,广东,广州,510640;
电弧离子镀; AlN薄膜; 掺杂; 光致发光;
机译:电弧离子镀制备AlN薄膜的研究
机译:多晶AlN薄膜的化学气相沉积和光致发光性能
机译:AlN膜厚度对深紫外光电器件的AlN /碳纳米管壳/核纳米结构的光致发光性能的影响
机译:脉冲偏压电弧离子镀AlN薄膜的结构和力学性能
机译:N合金化的AlN薄膜:结构,压电和磁性。
机译:蓝宝石衬底上具有纳米尺度厚AlN成核层的高质量无裂纹AlN薄膜的异质外延生长用于基于AlGaN的深紫外发光二极管
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:用于沉积压电薄膜的ALN ALN方法,该方法是ALN的压电薄膜
机译:用AlN AlN沉积压电薄膜和AlN的方法
机译:使用氮化铝(AlN)/氢化氮化铝(AlN:H)/氮化铝(AlN)的三层薄膜制造表面声波滤波器的方法
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