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光学元件表面污染物检测仪系统研究与开发

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摘要

针对光学元件表面污染物,设计了污染物检测仪系统.阐述了系统硬件和软件的构成,简单介绍了污染物图像的处理,分析了相机在扫描过程中的运动控制,以及高精度的运动控制的实现.最后提出了污染物与疵病区分的理论与方法.

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来源
《机械与电子》 |2008年第12期|11-14|共4页
作者
蒋勇; 谢志江; 朱小龙;
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作者单位

重庆大学机械工程学院,重庆,400030;

重庆大学机械工程学院,重庆,400030;

重庆大学机械工程学院,重庆,400030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
检测仪; 污染物; 线扫描相机; 三维电控平移台; 疵病;

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