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摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪 论
1.1 课题研究的背景和意义
1.2光学元件表面疵病检测国内外研究现状
1.2.1 平面光学元件表面疵病检测研究现状
1.2.2 曲面光学元件表面疵病检测研究现状
1.3 本文主要研究内容
第2章 曲面光学元件暗场扫描方案制定及误差分析
2.1 引言
2.2 曲面光学元件暗场检测方案制定
2.2.1 曲面光学元件暗场扫描原理分析
2.2.2 曲面光学元件暗场扫描路径规划
2.2.3 曲面光学元件暗场检测图像特点分析
2.3 暗场检测疵病定位误差分析及矫正
2.3.1 全口径图像拼接的误差分析
2.3.2 全口径图像拼接误差解决方案
2.4 本章小结
第3章 曲面光学元件暗场扫描图像采集软件设计及验证
3.1 引言
3.2 曲面光学元件表面几何方程拟合
3.3 曲面光学元件暗场扫描软件功能设计
3.3.1 曲面光学元件表面疵病定位至明场视野中心
3.3.2 曲面光学元件暗场扫描采集图片拼接
3.4 熔石英曲面光学元件暗场扫描实验验证
3.4.1 熔石英曲面光学元件暗场扫描实验方案
3.4.2 熔石英曲面光学元件暗场扫描过程及结果分析
3.5 本章小结
第4章 曲面光学元件暗场扫描图像疵病识别研究
4.1 引言
4.2 曲面光学元件表面疵病信息提取算法
4.2.1 曲面光学元件表面疵病暗场成像分析
4.2.2 曲面光学元件暗场采集图像疵病识别
4.2.3 曲面光学元件表面疵病信息提取
4.3 曲面光学元件全口径三维图像的重构
4.4 本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
